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美國TMC主動(dòng)空氣流平系統(tǒng)PEPS II，PEPS II 更易于使用，提供更多功能，并具有改進(jìn)的用戶界面。PEPS® II 是一種用于 TMC 氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。此類系統(tǒng)通常包括機(jī)械高度閥和機(jī)械高度傳感聯(lián)動(dòng)裝置。其應(yīng)用范圍從改善建立時(shí)間和提高產(chǎn)量的半導(dǎo)體制造設(shè)備，到需要最佳噪聲性能和平臺穩(wěn)定性的精密實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

美國TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)Electro-Damp II，專為提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量而設(shè)計(jì)。Electro-Damp II 是對原始系統(tǒng)的重新設(shè)計(jì)，增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙致動(dòng)器以及多個(gè)數(shù)字用戶界面，專為 OEM 應(yīng)用（如微光刻、檢測和計(jì)量工具）而設(shè)計(jì)。

美國TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)，TMC 氣動(dòng)隔振系統(tǒng)是尋求超精密儀器隔振的工具設(shè)計(jì)師的解決方案。TMC 現(xiàn)在提供我們的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) Gimbal Piston®、MaxDamp® 和 UltraDamp™ 隔振器，具有方便的容量、阻尼水平和調(diào)平版本，以適應(yīng)廣泛的應(yīng)用。

美國TMC 壓電主動(dòng)壓電消振平臺STAGE-Base，TMC 不斷應(yīng)用先進(jìn)技術(shù)開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體設(shè)備對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450 專為采用高精度電動(dòng) X-Y 平臺的先進(jìn)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)，是主要的、內(nèi)部的、基于壓電的消振系統(tǒng)。

美國TMC 壓電主動(dòng)壓電消振激光工作平臺，通常，光學(xué)平臺由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然這些無源系統(tǒng)在隔離高頻方面非常有效，但實(shí)際上會放大關(guān)鍵的 1 至 3 Hz 范圍內(nèi)的振動(dòng)。 TMC 的 STACIS 技術(shù)通過專有技術(shù)克服了這些限制，該技術(shù)結(jié)合了壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器，以消除而不是放大極低頻振動(dòng)。

美國TMC 壓電主動(dòng)壓電消振平臺TOOL-Base，TOOL-Base 是一款先進(jìn)的主動(dòng)壓電地板振動(dòng)消除平臺，適用于超精密儀器和機(jī)械。 在 TOOL-Base 的支持下，對低頻地板振動(dòng)敏感的高精度工具和儀器現(xiàn)在可以安裝在惡劣的環(huán)境中。它具有寬帶寬的主動(dòng)降噪和硬裝設(shè)計(jì)，非常適合實(shí)驗(yàn)室、工廠、醫(yī)院或其他嘈雜房間中的任何落地式工具。