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PRODUCTS CENTER美國TMC主動空氣流平系統PEPS II,PEPS II 更易于使用,提供更多功能,并具有改進的用戶界面。PEPS® II 是一種用于 TMC 氣動隔振系統的數字非接觸式高度控制系統。此類系統通常包括機械高度閥和機械高度傳感聯動裝置。其應用范圍從改善建立時間和提高產量的半導體制造設備,到需要最佳噪聲性能和平臺穩(wěn)定性的精密實驗室環(huán)境。
更新時間:2024-10-23
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美國TMC氣動隔振系統Electro-Damp II,專為提高半導體制造應用的吞吐量、分辨率和產量而設計。Electro-Damp II 是對原始系統的重新設計,增加了模塊化、數字控制、前饋、高力/高間隙致動器以及多個數字用戶界面,專為 OEM 應用(如微光刻、檢測和計量工具)而設計。
更新時間:2024-10-23
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美國TMC氣動隔振系統,TMC 氣動隔振系統是尋求超精密儀器隔振的工具設計師的解決方案。TMC 現在提供我們的行業(yè)標準 Gimbal Piston®、MaxDamp® 和 UltraDamp™ 隔振器,具有方便的容量、阻尼水平和調平版本,以適應廣泛的應用。
更新時間:2024-10-23
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美國TMC 壓電主動壓電消振平臺STAGE-Base,TMC 不斷應用先進技術開發(fā)新的解決方案,以滿足半導體設備對其隔振系統提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450 專為采用高精度電動 X-Y 平臺的先進半導體工具而設計,是主要的、內部的、基于壓電的消振系統。
更新時間:2024-10-23
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美國TMC 壓電主動壓電消振激光工作平臺,通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然這些無源系統在隔離高頻方面非常有效,但實際上會放大關鍵的 1 至 3 Hz 范圍內的振動。 TMC 的 STACIS 技術通過專有技術克服了這些限制,該技術結合了壓電致動器和慣性振動傳感器,以消除而不是放大極低頻振動。
更新時間:2024-10-23
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美國TMC 壓電主動壓電消振平臺TOOL-Base,TOOL-Base 是一款先進的主動壓電地板振動消除平臺,適用于超精密儀器和機械。 在 TOOL-Base 的支持下,對低頻地板振動敏感的高精度工具和儀器現在可以安裝在惡劣的環(huán)境中。它具有寬帶寬的主動降噪和硬裝設計,非常適合實驗室、工廠、醫(yī)院或其他嘈雜房間中的任何落地式工具。
更新時間:2024-10-23
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